電子級六氟化鎢：用于半導體產業(yè)中晶圓生產過程的外延片的鎢沉積。近年來，黎明院電子級六氟化硫、三氟化氮、四氟化碳、六氟化鎢等含氟特種氣體的研發(fā)也取得了豐碩成果，其中自主研發(fā)的處于國際先進水平的新型電解技術可實現直接一步反應生產三氟化氮，其產品指標達到國際先進水平。超高純六氟化硫、四氟化碳的研發(fā)列入國家重大專項課題“02專項”， 重點開發(fā)滿足半導體集成電路領域使用的更高純度含氟電子氣體。2016年6月，黎明院建設的1000噸/年三氟化氮項目，建成并達到設計能力，黎明院成為中國第二大三氟化氮生產商，二期1000噸/年正實施中。該項目實現技術與市場的強強聯(lián)合……2016年4月，黎明院獲批設立含氟電子氣體河南省工程實驗室，將實現主要含氟電子氣體產品的國產化，建成在國際上有一定影響力的含氟電子化學品創(chuàng)新平臺，開展技術研究、成果轉化和技術輻射，為集成電路、平面顯示器件、半導體器件、太陽能電池等電子工業(yè)發(fā)展提供強力支撐。未來幾年，黎明院繼續(xù)加大研發(fā)和產業(yè)化力度，肩負起電子氣體材料國產化的重擔，逐步由生產商向國內的生產+綜合氣體供應商轉型發(fā)展，滿足國內外相關領域發(fā)展的需求。

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