實現潔凈度要求的通風措施

潔凈室要達到潔凈等級，必須有綜合措施，其中包括工藝布置、建筑平面、建筑構造、建筑裝修、人員和物料凈化、空氣潔凈措施、維護管理等。其中空氣潔凈措施是實現潔凈等級的根本保證。就空氣潔凈而言，主要有以下幾項具體措施 [1] ：

（1） 對潔凈室的送風必須是有很高潔凈度的空氣。因此，必須選用或亞過濾器（潔凈級別低時）作為終端過濾器，對進入潔凈室的空氣，進行后一級過濾。為保護終端過濾器和延長其壽命，必須使空氣先經中效過濾器進行過濾。

（2） 根據潔凈室的等級，合理選擇潔凈室的氣流分布流型，在工作區(qū)應避免渦流區(qū)；盡量使送入房間的潔凈度高的空氣直接到達工作區(qū)；氣流的流動有利于潔凈室內的微粒從回風口排走。

（3） 有足夠的風量，既為了稀釋空氣的含塵濃度，又保證有穩(wěn)定的氣流流型。

（4）不同等級的潔凈室、潔凈室與非潔凈室或潔凈室與室外之間均應保持一定的正壓值。

潔凈室氣流組織考慮原則

（1） 當產品要求潔凈度為100級時，選用層流流型；當產品要求潔凈度為1000~100000級時，選用亂流流型。

（2） 減少渦流，避免把工作區(qū)以外的污染物帶入工作區(qū)。

（3） 為了防止灰塵的二次飛揚，氣流速度不能過大。亂流潔凈室的回風口不應設在工作區(qū)的上部。宜在地板上或側墻下部均勻布置回風口。

（4） 工作區(qū)的氣流應均勻，流速必須滿足工藝和衛(wèi)生的要求；潔凈氣流應盡可能把工作部位圍罩起來，使污染物在擴散之前便流向回風口。

（5） 工作設備布置時要留有一定的間隔，為送、回風口的布置和氣流的通暢創(chuàng)造條件：氣流組織設計時要考慮高大設備對氣流組織的影響。

（6） 潔凈工作臺不宜布置在層流潔凈室內。當布置在亂流潔凈室時，宜將其置于工作區(qū)氣流的上風側，以提高室內的空氣潔凈度。

（7） 潔凈室內有通風柜時，宜置于工作區(qū)氣流的下風側，以減少對室內的污染。 [2]

潔凈室的負荷特點和節(jié)能

一般情況下，凈化空調系統(tǒng)的能耗比一般空調系統(tǒng)的能耗大的多。其原因是兩者之間的負荷特點不同。就潔凈室，尤其是半導體工業(yè)潔凈室而言，其負荷特點是：由于排風量大造成新風量大，故新風處理所需冷量消耗大；送風量大，輸送動力消耗大，風機管道溫升高；生產設備的發(fā)熱量大，消耗冷量大。這三項負荷之和一般占總負荷的70%~95%。因此，凈化空調系統(tǒng)節(jié)能措施應從減少新風量（減少排風量）；控制送風量（合理確定換氣次數）；充分利用回風量；選擇低阻力率的空調和凈化設備和可變風量的風機等入手。

過濾器

過濾器的基本知識

過濾器是潔凈室的主要凈化設備，是空氣凈化的主要手段。因此，對于從事潔凈室設計、建造和維護管理人員了解和掌握過濾器的基本知識是十分重要的。

1.過濾器的分類

按過濾器的性能（效率、阻力、容塵量）來劃分，通常將其劃分成粗效、中效、高中效、亞、（HEPA）和超（ULPA）六類過濾器。

我國國家標準《空氣過濾器》GB/T14295-93中將不同過濾器的效率和阻力規(guī)定如下：

國家標準《空氣過濾器》GB13554-92中規(guī)定將過濾器按性能劃分為A、B、C、D四類。D類又通稱為超過濾器（或稱為0.1μm過濾器或超低透過率過濾器）。