產(chǎn)品概述:

FS4000是廣州迪川儀器儀表有限公司采用的微機電系統(tǒng)（FMEMS）流量傳感器技術和智能電子控制技術，專為普通氣體流量監(jiān)測開發(fā)的產(chǎn)品。該傳感器能直接測量氣體質(zhì)量流量，低壓損。適用于凈化空氣或氮氣流量監(jiān)控，還可用于環(huán)境采樣器（如色譜分析儀器等）

FS4003流量傳感器，管道內(nèi)徑為3mm，成本低測量范圍到5SLPM；適用于粒子計數(shù)器和各類分析儀器。

FS4008流量傳感器，管道內(nèi)徑為8mm，測量范圍到50SLPM；可用于麻醉設備、潔凈氣體檢測，如：空氣采樣機，氣體分析儀等

產(chǎn)品特點:

- 專為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測量而設計

- 支持多種連接方式，易于安裝與使用

- 傳感芯片采用熱質(zhì)量流量計量，無需溫度壓力補償，保證了傳感器的高精度計量

- 在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成，使其量程比達到了100:1甚至更高

- 輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數(shù)據(jù)或由上位機查詢輸出數(shù)據(jù)，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓

- 零點穩(wěn)定度高

- 全量程高穩(wěn)定性、高度和優(yōu)良的重復性

- 低功耗、低壓損

- 響應速度快

機械尺寸:

技術參數(shù)

性能參數(shù)

FS4003

FS4008

單位

通徑

3

8

mm

流量

2, 3, 4, 5

10, 20, 30, 40, 50

SLPM

量程比

100:1

精度

±(1.5+0.2FS)

%

重復性

0.75

%

零點輸出飄移

±30

mV

輸出飄移

0.12

%/oC

響應時間

100