凈化車間設(shè)計裝修
凈化車間主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸的大氣的潔凈度以及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為凈化車間。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當(dāng)然這個標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求。凈化車間設(shè)計裝修
每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下,就達(dá)到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A級。目前應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。5μm及以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。
編輯本段凈化車間一般結(jié)構(gòu)材料
1.凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點為美觀、剛性強(qiáng)。圓弧墻角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造
2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。
3.送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。
4.送風(fēng)口用不銹鋼框架,美觀清潔,沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板,不生銹不粘塵,宜清潔
編輯本段凈化車間常規(guī)參數(shù)
換氣次數(shù):100000級15次;10000級20次;100030次。
壓差:主車間對相鄰房間5Pa
平均風(fēng)速:10級、100級0.3-0.5m/s;
溫度 冬季>16;夏季 溫度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。
噪聲65dB(A);
新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的10%-30%;
照度300LX
編輯本段凈化車間基本原理
氣流初效凈化空調(diào)中效凈化風(fēng)機(jī)送風(fēng)管道凈化風(fēng)口吹入房間帶走塵埃等顆粒 回風(fēng)百葉窗初效凈化 重復(fù)以上過程,即可達(dá)到凈化目的。
編輯本段空氣凈化方式
物理式凈化方式
1.吸附性過濾活性炭活性炭是一種多孔性的含炭物質(zhì), 它具有高度發(fā)達(dá)的孔隙構(gòu)造, 活性炭的多孔結(jié)構(gòu)為其提供了大量的表面積,能與氣體(雜質(zhì))充分接觸,從而賦予了活性炭所特有的吸附性能,使其非常容易達(dá)到吸收收集雜質(zhì)的目的。就象磁力一樣,所有的分子之間都具有相互引力 缺點:普通活性炭并不能吸附所以的有毒氣體,效率較低、易脫附。凈化車間設(shè)計裝修
2.機(jī)械性過濾HEPA網(wǎng)HEPA(High efficiency particulate air Filter),中文意思為空氣過濾器,達(dá)到HEPA標(biāo)準(zhǔn)的過濾網(wǎng),對于0.3微米的有效率達(dá)到99.998%,HEPA網(wǎng)的特點是空氣可以通過,但細(xì)小的微粒卻無法通過。HEPA過濾網(wǎng)由一疊連續(xù)前后折疊的亞玻璃纖維膜構(gòu)成,形成波浪狀墊片用來放置和支撐過濾界質(zhì)。
靜電式凈化方式
工作原理:采用高壓靜電吸附除塵工作原理。靜電式是采用高壓靜電吸附除塵的工作原理。靜電場中的陰極線在高壓靜電的作用下,產(chǎn)生電暈放電,電暈層中產(chǎn)生大量的負(fù)離子,負(fù)離子在靜電場的作用下,不斷地向陽極運動。當(dāng)空氣中粉塵通過電場時,粉塵受到負(fù)離子的碰撞帶上電荷,帶上電荷后的粉塵同樣受到靜電場的作用,向陽極(集塵極)運動,到達(dá)陽極后釋放電荷。 缺點:可去除飄塵(不能去除毒害氣體),效能比機(jī)械式低、慢,而且易產(chǎn)生臭氧,此機(jī)型被美國市場評為差凈化器。
凈化車間設(shè)計裝修化學(xué)式凈化方式
1光催化法 工作原理:空氣通過光催化空氣凈化裝置時,光觸媒在光的照射下自身不起變化,卻可以促進(jìn)化學(xué)反應(yīng)的物質(zhì)空氣中的有害物質(zhì)如甲醛、苯等在光催化的作用下發(fā)生降解,生成無害的物質(zhì),而空氣中的也被紫外光除掉,空氣因此得到凈化。 缺點:廣譜但需要空氣流速較低,凈化速度比較慢并且對人體有一定的輻射,在歐美是被汰的凈化方式。
2. 甲醛清除劑 工作原理:是采用化學(xué)物質(zhì)和甲醛進(jìn)行化學(xué)反應(yīng),達(dá)到清除甲醛的目的
1)、化學(xué)反應(yīng)類:與甲醛發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成二氧化碳和水,如氨水等;
2)、生物類:由能與甲醛反應(yīng)的生物制劑制成,如尿素、大豆蛋白、氨基酸等;
3)、植物類:由植物提取物制成,如蘆薈、茶葉提取物等;凈化車間設(shè)計裝修
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