凈化車(chē)間主要之作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸的大氣的潔凈度以及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱(chēng)之為凈化車(chē)間。按照國(guó)際慣例，無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非沒(méi)有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無(wú)塵是必然的要求。
每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下，就達(dá)到了國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A級(jí)，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。5μm及以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以?xún)?nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱(chēng)的1K級(jí)別。
編輯本段凈化車(chē)間一般結(jié)構(gòu)材料
1.凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)。圓弧墻角、門(mén)、窗框等一般采用專(zhuān)用氧化鋁型材制造
2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級(jí)耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。
3.送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。
4.送風(fēng)口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔
編輯本段凈化車(chē)間常規(guī)參數(shù)
換氣次數(shù)：100000級(jí)15次；10000級(jí)20次；100030次。
壓差：主車(chē)間對(duì)相鄰房間5Pa
平均風(fēng)速：10級(jí)、100級(jí)0.3－0.5m/s；
溫度 冬季>16；夏季 溫度45－65%；GMP粉劑車(chē)間濕度在50%左右為宜；電子車(chē)間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。
噪聲65dB（A）；
新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的10%－30%；
照度300LX
編輯本段凈化車(chē)間基本原理
氣流初效凈化空調(diào)中效凈化風(fēng)機(jī)送風(fēng)管道凈化風(fēng)口吹入房間帶走塵埃等顆粒 回風(fēng)百葉窗初效凈化 重復(fù)以上過(guò)程，即可達(dá)到凈化目的。
編輯本段空氣凈化方式
物理式凈化方式
1.吸附性過(guò)濾活性炭活性炭是一種多孔性的含炭物質(zhì), 它具有高度發(fā)達(dá)的孔隙構(gòu)造, 活性炭的多孔結(jié)構(gòu)為其提供了大量的表面積，能與氣體（雜質(zhì)）充分接觸，從而賦予了活性炭所特有的吸附性能，使其非常容易達(dá)到吸收收集雜質(zhì)的目的。就象磁力一樣，所有的分子之間都具有相互引力 缺點(diǎn)：普通活性炭并不能吸附所以的有毒氣體，效率較低、易脫附。
2.機(jī)械性過(guò)濾HEPA網(wǎng)HEPA(High efficiency particulate air Filter)，中文意思為空氣過(guò)濾器，達(dá)到HEPA標(biāo)準(zhǔn)的過(guò)濾網(wǎng)，對(duì)于0.3微米的有效率達(dá)到99.998%，HEPA網(wǎng)的特點(diǎn)是空氣可以通過(guò)，但細(xì)小的微粒卻無(wú)法通過(guò)。HEPA過(guò)濾網(wǎng)由一疊連續(xù)前后折疊的亞玻璃纖維膜構(gòu)成，形成波浪狀墊片用來(lái)放置和支撐過(guò)濾界質(zhì)。
靜電式凈化方式
工作原理：采用高壓靜電吸附除塵工作原理。靜電式是采用高壓靜電吸附除塵的工作原理。靜電場(chǎng)中的陰極線(xiàn)在高壓靜電的作用下，產(chǎn)生電暈放電，電暈層中產(chǎn)生大量的負(fù)離子，負(fù)離子在靜電場(chǎng)的作用下，不斷地向陽(yáng)極運(yùn)動(dòng)。當(dāng)空氣中粉塵通過(guò)電場(chǎng)時(shí)，粉塵受到負(fù)離子的碰撞帶上電荷，帶上電荷后的粉塵同樣受到靜電場(chǎng)的作用，向陽(yáng)極（集塵極）運(yùn)動(dòng)，到達(dá)陽(yáng)極后釋放電荷。 缺點(diǎn)：可去除飄塵（不能去除毒害氣體），效能比機(jī)械式低、慢，而且易產(chǎn)生臭氧，此機(jī)型被美國(guó)市場(chǎng)評(píng)為差凈化器。
化學(xué)式凈化方式
1光催化法 工作原理：空氣通過(guò)光催化空氣凈化裝置時(shí)，光觸媒在光的照射下自身不起變化，卻可以促進(jìn)化學(xué)反應(yīng)的物質(zhì)空氣中的有害物質(zhì)如甲醛、苯等在光催化的作用下發(fā)生降解，生成無(wú)害的物質(zhì)，而空氣中的也被紫外光除掉，空氣因此得到凈化。 缺點(diǎn)：廣譜但需要空氣流速較低，凈化速度比較慢并且對(duì)人體有一定的輻射，在歐美是被汰的凈化方式。
2. 甲醛清除劑 工作原理：是采用化學(xué)物質(zhì)和甲醛進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)，達(dá)到清除甲醛的目的
1)、化學(xué)反應(yīng)類(lèi)：與甲醛發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成二氧化碳和水，如氨水等；
2)、生物類(lèi)：由能與甲醛反應(yīng)的生物制劑制成，如尿素、大豆蛋白、氨基酸等；
3)、植物類(lèi)：由植物提取物制成，如蘆薈、茶葉提取物等；
4)、封閉類(lèi)：由成膜物質(zhì)制成，形成一層薄膜阻止甲醛釋放，如幾丁聚糖、液體石蠟等 缺點(diǎn)：一,化學(xué)反應(yīng)過(guò)后生成的物質(zhì)很可能帶來(lái)二次污染. 實(shí)踐過(guò)程中常常出現(xiàn)二次檢測(cè)超標(biāo)的現(xiàn)象二是是在不改變化學(xué)成分的基礎(chǔ)上吸收甲醛，降低空氣中的甲醛含量，但是這樣的方式治標(biāo)不治本，甲醛容易再次釋放出來(lái)。
3.藥劑、催化法---冷