三次元測量儀，主要是指通過三維取點來進行測量的一種儀器，市場上也有叫三坐標，三坐標測量機，三維坐標測量儀，三次元的。

主要原理是：將被測物體置于三次元測量空間，可獲得被測物體上各測點的坐標位置，根據這些點的空間坐標值，經計算求出被測物體的幾何尺寸，形狀和位置。 基本原理就是通過探測傳感器（探頭）與測量空間軸線運動的配合，對被測幾何元素進行離散的空間點位置的獲取，然后通過一定的數學計算，完成對所測得點（點群）的分析擬合，最終還原出被測的幾何元素，并在此基礎上計算其與理論值（名義值）之間的偏差，從而完成對被測零件的檢驗工作.